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中频炉升降温度的调节

2024-01-02 14:29:07

  对于真空炉的调温点,很多人更关心的是运行过程中的实际峰值温度。炉的温度范围过高即为过烧,过低即为欠烧。这两种情况都不是的烧结效果。掌握温度控制是找到烧结温度范围的关键。如何判断是低烧还是高烧?请参考炉上的电性能参数,可用来确定。

  中频炉烧制时,残余银浆穿透氮化硅,导致进入n型层的银浆较少,欧姆接触效果较差,导致串联电阻较大。过烧时,银的消耗量会比平时高,银和硅形成的混合层就会形成。这种混合层会起到障碍的作用,也会形成具有过大阻力的串联。因此,不可能仅根据阻力来推断它是燃烧不足还是过度燃烧。当无法确定烧结状态时,可以调整8区的温度,找到近似的调整点,然后慢慢微调。在微调的时候,我们可以通过后场的状态来判断。如果后场稍有凸起,则是由于过烧,因此应通过微调降低温度。在开始烧结之前,需要确认每个加热灯是否可以正常工作。检查每个温度区的灯具输出功率是否高于其他温度区的灯具的平均值,以保证烧结的均匀性。

中频炉升降温度的调节

  真空系统由扩散泵、机械泵、主阀、高真空挡板阀和旁通阀组成。机械泵是一种粗真空装置,其动力源为三相交流电动机。通过打开和关闭交流接触器,泵停止并工作。高真空油扩散泵是利用扩散泵油、前级机械泵、炉加热,完成高真空度所需的吸油工作的高真空装置。通过交流接触器的断开和吸入来控炉的通断,从而控制扩散泵的停止和动作。加热系统由加热元件和加热电源组成。加热电源采用磁稳压器,中频炉厂家采用直流励磁电源,实现有负载无接触的平稳无级稳压。直流励磁电源由功率调节器控制,功率调节器使用温控器通过热电偶检测炉温设定值与电流值之间的差值。经PID计算后,输出5-21mA的直流信号,控制磁稳压器中的电压和磁饱和,然后根据温控器设定的温控曲线,实现自动温控和加热电流。

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